四溴化碳（CBr?）作為一種高純度鹵代烴化合物，在半導(dǎo)體行業(yè)主要產(chǎn)生于金屬有機(jī)氣相外延（MOVPE）工藝及有機(jī)合成環(huán)節(jié)。在MOVPE技術(shù)中，四溴化碳常被用作p型摻雜劑的前驅(qū)體，通過(guò)精確控制其蒸氣濃度，向AlGaAs、InGaAs等半導(dǎo)體合金材料中引入碳元素，以調(diào)節(jié)材料的電學(xué)性能，滿足高頻晶體管（HBT）等器件對(duì)高摻雜濃度的需求。此外，在光刻膠剝離、精密清洗等工藝中，四溴化碳因其優(yōu)異的溶解性能，可能作為溶劑或反應(yīng)中間體使用，過(guò)程中若發(fā)生泄漏或不反應(yīng)，會(huì)導(dǎo)致其以氣體形式釋放到生產(chǎn)環(huán)境中。

值得注意的是，四溴化碳的物理特性（如熔點(diǎn)88~90℃、沸點(diǎn)190℃）使其在常溫下易升華形成蒸氣，尤其在高溫工藝環(huán)節(jié)（如晶圓沉積）中，飽和蒸氣壓可達(dá)5.32kPa（96.3℃），增加了擴(kuò)散至空氣中的風(fēng)險(xiǎn)。

四溴化碳被國(guó)際化學(xué)品安全卡（ICSC）列為高毒物質(zhì)，其危害主要體現(xiàn)在以下方面：

1. 急性毒性

• 呼吸系統(tǒng)損傷：吸入高濃度四溴化碳蒸氣后，會(huì)引發(fā)劇烈咳嗽、咽痛、胸悶，嚴(yán)重時(shí)導(dǎo)致支氣管炎、肺炎甚至肺水腫。其對(duì)呼吸道黏膜的刺激性可造成不可逆損傷，如角膜潰瘍、喉頭水腫。

• 全身性中毒：經(jīng)呼吸道或皮膚吸收后，四溴化碳可通過(guò)血液分布至肝、腎等器官，導(dǎo)致肝細(xì)胞壞死、腎小管損傷，表現(xiàn)為黃疸、少尿等癥狀。動(dòng)物實(shí)驗(yàn)顯示，大鼠經(jīng)口LD??為1800mg/kg，皮下注射LD??僅298mg/kg，提示其高毒性。

半導(dǎo)體車間多為密閉潔凈環(huán)境，空氣循環(huán)系統(tǒng)可能導(dǎo)致泄漏氣體積聚。四溴化碳的職業(yè)接觸限值極低（ACGIH TWA：0.1ppm，STEL：0.3ppm），一旦超過(guò)閾值，短時(shí)間內(nèi)即可造成健康損害。實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)可及時(shí)觸發(fā)報(bào)警，避免群體性中毒事故。

深國(guó)安在線式四溴化碳?xì)怏w檢測(cè)儀的核心作用

深國(guó)安SGA系列在線式氣體檢測(cè)儀針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)苛環(huán)境，提供全流程安全監(jiān)測(cè)解決方案，具體功能如下：

1. 實(shí)時(shí)精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)，預(yù)警泄漏風(fēng)險(xiǎn)

• 檢測(cè)性能：采用進(jìn)口傳感器，檢測(cè)范圍覆蓋0.01ppm~1000ppm，分辨率達(dá)0.001ppm，響應(yīng)時(shí)間＜10秒，可捕捉微量泄漏。

• 多場(chǎng)景適配：設(shè)備具備IP65防塵防水等級(jí)及Ex ia IIB T4 Ga防爆認(rèn)證，適用于潔凈室、工藝管道接口、廢氣處理區(qū)等高危環(huán)境，支持壁掛、管道式安裝。

2. 智能聯(lián)動(dòng)與數(shù)據(jù)管理

• 聯(lián)動(dòng)控制：當(dāng)濃度超標(biāo)時(shí)，自動(dòng)觸發(fā)聲光報(bào)警（110dB），并聯(lián)動(dòng)排風(fēng)系統(tǒng)、緊急切斷閥，阻止氣體擴(kuò)散。

• 數(shù)據(jù)追溯：內(nèi)置存儲(chǔ)芯片可記錄10萬(wàn)條歷史數(shù)據(jù)，支持RS485/4G無(wú)線傳輸至監(jiān)控平臺(tái)，滿足FDA、SEMI等行業(yè)對(duì)數(shù)據(jù)可追溯性的要求。